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      1. 電子氣體
        Nitrogen TriFluoride (NF3) 三氟化氮 5N


         Nitrogen TriFluoride 三氟化氮 (NF3)

        Total Purity 純度:>99.999%

        Vapor Phase Impurities

        氣相雜質

        Contaminants

        雜質

         

        Specifications (ppmv)

        規格

        Ar+O2

        Argon+Oxygen 氬氣+氧氣

        <1.0

        N2

        Nitrogen 氮氣

        <1.0

        CF4

        Halocarbon-14 四氟化碳

        <10

        CO2

        Carbon Dioxide 二氧化碳

        <1.0

        N2O

        Nitrous Oxide 氧化亞氮

        <1.0

        SF6

        Sulfur Hexafluoride 六氟化硫

        <1.0

        CO

        Carbon Monoxide 一氧化碳

        <1.0

        HF

        Hydrogen Fluride

        <1.0

        H2O

        Moisture 

        <1.0

         

        Standard Package Information

        包裝規格

        Cylinder Type氣瓶規格

        47?,  Bundle,  Y-cylinder,  20ft ISO-Container,  40ft ISO-Container

        Fill Weight充裝量 (kg)

        20,   320,      200,         4200,              8000

        Valve Connection 閥門(DISS)

        640




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